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单面抛光设备 8英寸晶片单面抛光生产线

 8英寸晶圆抛光线是集硅片清洗、贴片、陶瓷盘传送及存储、硅片抛光、硅片和陶瓷盘分离及陶瓷盘清洗等工艺为一体的全自动化抛光设备。

该设备线可加工6-8英寸半导体硅片,自动化程度高,加工效率高,精度高。

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