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单面抛光设备 全自动单片式8英寸半导体硅片抛光机
该设备是行业唯一的全自动化、片匣到片匣、涂蜡式单片抛光系统。该设备专门为提高硅片平整度和片间参数一致性而设计。具有高可靠性与稳定性,技术具有国际先进水平。
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